(SMK2021) RIST, 포스코와 협력 개발한 SiC 웨이퍼 선봬

(SMK2021) RIST, 포스코와 협력 개발한 SiC 웨이퍼 선봬

  • 철강
  • 승인 2021.10.08 15:12
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기자명 대구 엑스코=윤철주 기자 cjyoon@snmnews.com
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전기·수소자동차 분야에 활용 가능...10여 년 연구 성과 쌓여
리스트벤처, 세아베스틸·포스코SPS에 적용된 산농도 분석기 공개

재단법인 포항산업과학연구원(RIST/원장 유성)가 SMK2021(제6회 국제 철강비철금속 산업전)에서 포스코와 개발한 SiC 웨이퍼를 선보였다. 아울러 RIST와 함께 행사에 참여한 ‘RIST Venture(리스트벤처)'는 산농도 분석기를 홍보했다.

RIST는 이번 전시회에서 포스코와 함께 연구·개발한 ‘전력반도체용 SiC(실리콘 카바이드) 단결정 웨이퍼’를 선뵀다. 이 제품은 차세대 고효율 SiC 전력반도체용 웨이퍼 소재 수요시장이 확대되고 전기 에너지 절감 필요성으로 개발이 시작됐다.

 

SiC의 소재 개발 및 사업은 분야를 포스코가 담당한 가운데 RIST는 초고순도(6N) SiC 분말을 이용하여 2,000도 이상의 고온에서 승화(재결정화) 작업을 통한 SiC 단결정 잉곳 제조 기술을 확보했다.

현재 기술 개발 완료로 6인치 SiC 단결정 웨이퍼의 품질은 글로벌 주요사 수준으로 발전한 것으로 평가되고 있다. RIST와 포스코는 오는 2023년까지 Epi 웨이퍼로 이어지는 양산기술 개발을 가속화할 계획이다.

이번 전시회에는 RIST의 관계 단체인 리스트벤처도 진행 중 사업을 홍보했다. 리스트벤처는 세아특수강과 포스코에스피에스 등에 적용하고 있는 ‘산농도 분석기’를 선보였다.

산농도 분석기는 스테인리스강 산세 작업 시 질산과 불산, 황산 등 혼산에 대해 각각의 유리산 및 구별하여 측정 할 수 있는 설비를 말한다. 리스트벤처는 해외 고가(高價) 분석장비에 비해 합리적인 가격 (60~70% 수준)으로 산세 용액을 정확히 분석할 수 있는 산농도 분석기를 개발했다.

RIST 관계자는 “지난 30여 년간 포스코와 국가의 기술 발전에 이바지해 온 RIST는 산업계 미세먼지 저감과 이산화탄소 자원화, 슬래그 재활용 등 환경 관련 연구에서부터 신재생에너지, 스마트그리드 등 에너지 관련 연구까지 포스코 그룹 성장과 국가 사회 발전을 견인하기 위한 혁신기술 개발에 역량을 집중하고 있다”라며 “RIST는 더 힘찬 발걸음으로 미래기술 연구원 · 실용화 전문 연구기관을 향한 대장정에 나서겠다”라고 밝혔다.

 

 

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