위지트, 서셉터 표면처리방법 특허 취득

반도체·LCD 장비용 부품 제조업체인 (주)위지트(대표이사 김상우)는 서셉터 표면처리방법에 관한 특허를 취득했다고 14일 공시했다.

본 특허는 LCD CVD 챔버 내부에 설치되는 서셉터에 관한 것으로, 서셉터 표면에 요철이 일정 깊이 이상 깊게 형성되어 표면처리 후 표면의 거칠기가 유지되며, 기판이 균일하게 가열되어 제품의 불량이 방지될 수 있는 서셉터의 제조방법을 제공하는 데 목적이 있다.

본 특허 기술이 적용된 제품은 표면 조도가 높게 형성되며 공정 중 기판의 온도 균일성을 향상 할 수 있을 뿐만 아니라, 서셉터와 기판의 접촉면적을 줄임으로써 양자 간의 정전력을 줄여, 기판과 서셉터의 분리를 용이하게 할 수 있는 제조 방법을 제공한다.

현재 디스플레이 패널의 대형화로 인하여, 증착을 위한 기판의 온도 균일도 및 탈부착 시 불량 요소가 중요한 사항으로 부각되고 있으며 LCD 패널을 장시간 사용 시 기판의 얼룩 및 탈착이 용이하지 않아 파손 및 불량 요인이 발생되어 왔다.

(주)위지트는 향후 본 특허 기술을 적용하여 기존 대비 우수한 품질을 갖는 제품 생산에 적용할 계획이다.