반도체 제조 공정에서 배출되는 오염물질을 효과적으로 제거

한국기계연구원 환경시스템연구본부장 김용진 책임연구원이 개발한 '정전 방식 가스 및 초미세먼지 동시 저감 기술'이 NST(국가과학기술연구회) '2019 출연연 우수연구성과 10선'에 선정됐다.

우수성과에 선정된 '정전 방식 가스 및 미세먼지 동시 저감기술'은 반도체 제조 공정에서 배출되는 온실가스를 처리할 때 발생하는 오염물질을 효과적으로 제거할 수 있는 통합형 배기가스 처리 시스템이다.

연구팀은 화학 반응 시 발생하는 정전 라디컬을 이용해 배기가스를 물에 잘 녹도록 만들고,복합환원제를 분무해 오염물질이 제거되도록 만들었다. 최종적으로 배출되는 초미세 미스트와 먼지는 자동세정형 전기집진 장치로 다시 한 번 제거하여 정화 효율을 극대화했다.

최근 반도체 제조에 필요한 웨이퍼의 직경이 커지고, 대면적 디스플레이 생산이 증가하는 등 관련 산업 발전에 따라 발생하는 오염물질의 양이 증가하고 있어 해당 기술에 대한 관심이 커지고 있다.